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应用行业

半导体/电子零件行业、新能源，LCD面板行业、二次电池行业、

天然气厂、食品行业、钢/金属行业、烤箱、手套箱

用途：

化学气相沉积设备

物理气相沉积设备

扩散炉

输送装置

晶体器件制造设备

溅射设备

半导体制造工艺用的各种烧成炉

回流焊炉

退火设备

成型设备

冷凝式烧成炉

氮气发生器

可用于半导体和电子元件制造以及食品包装等各种应用

可用于真空测量和手套箱集成等多种用途

可以集成到包括半导体和液晶装置在内的各种装置中