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干式真空泵

应用行业

半导体制造行业、SEMI半导体、PV 光伏、LED行业、Medical医疗制药、LIB 锂电池、FPD 平板显示、AUTO 汽车。

工业产品、化学、医疗、生物等基础科学领域。

1 半导体技术已广泛应用于电脑、智能手机、家电、汽车、医疗设备等日常生活中不可或缺的多种设备中。

干式真空泵在半导体的制作流程中的应用包括蚀刻和CVD、清洗、灰化、沉积、离子注入、外延生长、平坦化处理等。

2 太阳能光伏发电系统，是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应，

将太阳光辐射能转变为电能的一种发电系统。近年来，光伏行业得到了迅猛发展。真空技术在光伏行业中有着广泛的应用，

真空泵也是光伏产品制造过程中必不可少的设备。

应用环节

‌硅片生产‌：在硅片生产过程中，干式真空泵提供高精度的真空环境，确保硅晶体的拉制质量‌。

‌电池片制造‌：在电池片的制造过程中，干式真空泵用于真空封装，确保电池片中的材料质量和性能‌。

‌电池组件封装‌：在电池组件的封装过程中，干式真空泵提供稳定的真空环境，确保组件的质量和性能‌。