ULVAC 真空计 SP1 是日本 ULVAC（爱发科）公司生产的一款皮拉尼真空计。

以下是其详细介绍：
类型：传感器型皮拉尼真空计，将测量元件和电路集成在一起，可节省成本和空间。
灯丝材料：采用铂制成，具有优异的耐腐蚀性。
测量精度：51Pa-760Pa 时为 ±15%；10Pa-1000Pa 时为 ±30%；0.4Pa-3000Pa 时为 ±50%。
工作温度范围：10-40℃。
采样时间：50ms，采用 5 移动平均线处理。
测量值输出：非线性输出，DC0-5V（更新时间 50ms，分辨率 10mV）。
设定点输出：有 2 个设定点输出，输出为 DC0-5V（非线性输出），控制输出信号为集电极开路，负逻辑。
电源电压：DC24V±2V，电流 90mA。
连接器：输入 / 输出连接器为 D-sub-15P（M2.6 螺丝）。
重量：190g（不包括测量元件）。
应用领域：主要用于半导体和电子元件等各种制造设备、窑炉和其他工业设备，以及具有许多工艺腔室的各种制造设备（如在线和单晶片）的低真空范围内的过程控制。