【玉崎仓库到货】日本春日电机KASUGA静电传感器KS-3101
2026-03-25 11:35:05
KS-3101 是日本春日电机（KASUGA） 专为真空环境设计的振动式非接触静电电位传感器，核心用于半导体、真空镀膜等场景的表面电位实时监测。
一、核心规格（KS-3101）
品牌 / 型号：KASUGA（春日电机）KS-3101
检测原理：振动型表面电位检测（非接触）
适用真空度：10⁵Pa（常压）、10⁻¹～10⁻⁵Pa（高真空）
双量程（固定距离）
HIGH：0～±20.0kV（测量距离 100mm）
LOW：0～±2000V（测量距离 10mm）
测量精度：±10% FS
响应速度：≤50ms（适配高速产线）
防护 / 重量：真空兼容密封；约 130g（不含线缆 / 控制箱）
使用环境：0～40℃，湿度≤65% RH（无凝露）
配套组件
真空专用电缆：KS-3101-C01（1m，可延长）
控制盒：KS-3101-B05
控制器：KSD-0110（显示 / 报警 / 输出）
二、产品特点
真空专用：材料与结构适配高真空，无放气、无污染风险
非接触测量：不接触被测表面，不影响制程、不损伤样品
双量程切换：高低压场景一键切换，覆盖宽电位范围
故障报警：内置传感器故障 LED 指示，便于维护
小体积：真空腔体内安装灵活，不占空间
三、典型应用
半导体：晶圆、光刻胶、掩膜版静电监测
真空镀膜：薄膜沉积过程电位控制
电子器件：真空封装、OLED/LED 制程
科研：真空环境材料静电特性研究
四、安装与使用要点
距离固定：HIGH 量程必须用 100mm，LOW 量程必须用 10mm，距离偏差会显著影响精度
真空密封：接口需严格密封，防止真空泄漏
接地：传感器与腔体可靠接地，避免干扰
量程选择：低压精密场景用 LOW；高压 / 远距离用 HIGH