【玉崎仓库到货】日本USHIO牛尾紫外线灯管UVL-7000M4-0

2026-03-25 13:56:41
UVL‑7000M4‑0 是日本 USHIO(牛尾) 出品的超高压短弧汞灯,专为半导体、LCD、PCB 等精密光刻 / 曝光制程设计,以高亮度、长寿命、近点光源、三波长均衡输出为核心优势。

一、核心规格(官方 / 行业参数)

表格
参数规格
品牌 / 型号USHIO 牛尾 UVL‑7000M4‑0
光源类型超高压短弧汞灯(SHP)
额定功率7000W(7kW)
主波长365nm(i‑line)、405nm(h‑line)、436nm(g‑line) 三主峰
光源特性短弧、近点光源,利于平行光与均匀照度
寿命长效型 ≥ 2000 小时;普通型 ≥ 1000 小时
灯管材质高纯石英玻璃(高 UV 透射、耐高温)
配套要求必须使用 USHIO 专用电源 / 镇流器 + 强制风冷
应用定位高精度曝光、光刻、图案转移

二、核心性能与优势

  1. 三波长均衡输出

    365/405/436nm 强度匹配,适配多种光刻胶与曝光制程,覆盖半导体、LCD、OLED、PCB、MEMS 等精密图案形成。

  2. 近点光源特性

    电弧尺寸极小,接近理想点光源,光学系统易实现高平行度、均匀照度,保障微米‑纳米级分辨率。

  3. 高稳定性与长寿命

    辐照度波动小、光衰可控;长效型寿命达 2000h+,适合连续生产,降低更换与停机成本。

  4. 工业级耐用

    高纯石英 + 精密电极密封,耐受超高压与高温,适配严苛工业环境。

三、典型应用场景

  • 半导体:晶圆光刻、掩膜版曝光、电路图案形成

  • 显示面板:LCD/OLED/ 彩色滤光片 / 触摸屏图案曝光

  • 电子制造:PCB 线路、FPC、MEMS 器件精密曝光

  • 其他:精密光学元件、微结构、光刻胶固化

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