DIC 脱气模块 PF-13F(T）,京都玉崎优势供应

DIC 脱气模块 PF-13F(T）,京都玉崎优势供应

核心技术参数

表格

参数项

PF-13F (T) 规格

处理流量    1～500 mL/min；推荐最优区间 150～350 mL/min（标准版 PF-13F 上限仅 300mL/min） 

膜有效面积    3.0 ㎡ 

外形尺寸    Φ102 mm × 总长 260 mm 

腔体容积    300 mL 

液侧耐压    极限 0.294 MPa，安全运行≤0.25 MPa 

真空侧负压上限    -0.098 MPa 

使用温度    5～40 ℃ 

液体接口    1/4" Super Pillar（PFA 超级柱接头） 

真空接口    Rc1/8 内螺纹 

核心膜材    带致密皮层 SS-PTFE 中空纤维（只透气、不透液） 

脱气效率    25℃纯水、50mL/min、5.3kPa 真空下脱气率＞80% 

接液材质    全 PTFE/PFA，无金属析出，半导体高纯级 

三、工作原理（内灌流真空脱气）

待脱气药液从上端进入中空纤维膜内腔流动；

模块外壳腔体持续抽真空，膜内外形成气体分压差；

液体中溶解氧、氮气、CO₂等气体穿透 PTFE 膜壁进入真空腔；

真空泵持续抽出真空侧气体，脱气完成的药液从下端流出；

PTFE 致密皮层阻挡液体渗透，无漏液风险。

四、核心优势（对比标准 PF-13F）

极低压力损失：同等流量下压降减少 40% 以上，适配涡流泵、循环泵长管路闭环；

流量上限提升：300mL/min 扩容至 500mL/min，同体积更大处理能力；

全氟耐腐：可应对光刻胶、稀释剂、强酸强碱、酮 / 酯类有机溶剂；

洁净无析出：无不锈钢 / 橡胶接触药液，适配半导体、OLED 高纯制程；

体积紧凑，同尺寸流量接近 PF-28F，节省设备安装空间。

五、典型应用场景

半导体 / 面板制造光刻胶、显影液、剥离液、蚀刻药液脱泡脱氧，防止曝光线宽偏移、针孔不良；

喷墨打印工业溶剂型墨水、UV 墨水在线连续脱气，杜绝打印断线、白点；

精密化工循环系统有机溶剂、酸碱清洗液闭环循环脱气；

锂电 / 光伏药液各类有机电解液、清洗溶剂除溶解气泡。