ULVAC 爱发科 两级耐腐蚀隔膜干式真空泵DTC-41
ULVAC 爱发科 两级耐腐蚀隔膜干式真空泵DTC-41
ULVAC 爱发科 两级耐腐蚀隔膜干式真空泵DTC-41
DTC-41 属于DTC 耐腐蚀隔膜干泵系列，双级隔膜结构，全气路 PTFE+FPM 氟橡胶防腐，专门抽取有机溶剂、弱酸弱碱腐蚀性蒸汽，全程无油洁净，适配微量脱气、分析仪器、半导体药液脱泡配套（和你之前 PF-03F、eFLOW 脱气模组配套真空源）。
型号后缀区分
DTC-41：标准单相 220V 工业款（国内常用）
DTC-41K：带气镇阀版本，水蒸气处理能力更强
C/D/E/F：对应 100/115/220/230V 不同电压电机
二、完整核心技术参数
表格
| 参数项目 | DTC-41 标准规格 |
|---|---|
| 抽气速率 | 50Hz：40 L/min；60Hz：46 L/min |
| 极限真空 | 1000 Pa（-100.3 kPa 表压） |
| 电机功率 | 100W 单相电容运转电机 |
| 供电 | AC200/220/230V 50/60Hz |
| 进出气接口 | G1/4 内螺纹，软管外径 Φ10、内径 Φ6 |
| 整机尺寸 | 宽 155 × 长 336.5 × 高 217 mm |
| 整机重量 | 10.3 kg |
| 接液 / 接气材质 | 隔膜、阀片、流道：PTFE+FPM 氟橡胶 |
| 冷却方式 | 自带风冷散热 |
| 保护装置 | 内置自动复位热过载保护器 |
| 使用环境 | 0～40℃，室内通风 |
| 认证 | CE、TUV、RoHS 合规 |
三、工作原理
电机偏心机构驱动两级隔膜往复运动，隔膜柔性伸缩配合单向氟橡胶阀完成吸气→压缩→排气； 两级串联压缩对比单级隔膜泵，极限真空更高；泵腔无润滑油，无油雾返流污染药液 / 腔体；所有接触气体部件全氟材质，耐酮、酯、醇、弱酸、剥离液、显影液蒸汽腐蚀。
四、核心优势
超强耐化学腐蚀唯一一款小流量干泵全氟接气，可直抽光刻溶剂、稀释剂、弱酸水汽，不会像 DOP 活塞泵腐蚀皮碗漏气。
无油洁净，零油维护无泵油、无油雾污染，适配超纯水脱气、精密分析、光学制程，不用定期换油。
小型轻量化仅 10.3kg，台面 / 机柜内嵌均可，噪音低，适合实验室、小型清洗设备配套。
两级高真空极限 1000Pa，优于普通单级隔膜泵，小流量脱气时真空稳定，气泡脱除效果更好。
维护简单消耗件仅隔膜、阀片、进气滤芯，单人 5 分钟可更换。
五、适配场景
半导体 / 面板药液脱气搭配 PF-03F 微型脱气模组、eFLOW 小型控电阻率装置，抽取剥离液、显影液、光刻胶溶解气泡；耐溶剂蒸汽，不会被药液挥发物腐蚀。
实验室分析仪器HPLC 液相、质谱 LCMS、旋转蒸发、真空浓缩、固相萃取前级抽气。
精密清洗设备小型超纯水喷淋脱泡、微量药液循环脱气，小流量单点真空供给。
化工 / 制药有机溶剂真空过滤、微量试剂除氧干燥。