富士テクノ工業株式会社（富士技术工业株式会社 Fuji‑Techno Kogyo）

⚠️注意：不是Fasford（富士技术封测固晶机），这是两家完全不同日本公司，这家是流体泵、液压马达厂商，半导体设备流体系统大量使用。

核心产品

1、内接摆线齿轮泵（インターナルギヤーポンプ）

• 型号系列：FTP系列，摆线转子结构

• 参数：压力0.5‑4MPa，流量1.4‑117L/min，耐温‑5～200℃

• 特点：结构紧凑、脉动小；输送润滑油、液压油、高粘度介质

• 用途：半导体设备液压单元、机床、工程机械、液压供油循环。

2、无脉动计量泵（スーパーメータリングポンプ）

三柱塞往复式，超高精度定量吐出，几乎无脉动。

• 半导体药液、化学试剂、树脂、胶水定量供给；点胶、药液配比工艺。

• 优势：流量稳定，适合微量精密流体输送。

3、磁力泵（マグネットポンプ）

无密封磁力驱动，零泄漏。

• 耐腐蚀化学液输送；温度最高300℃；半导体、化工流体回路。

4、内接齿轮液压马达（油圧モータ）

小型大扭矩低速液压马达。

• 工程机械、输送机构、设备旋转驱动模块。

半导体行业应用场景

1. 设备液压动力单元供油

2. 化学药液、胶水精密定量输送

3. 冷却油、润滑油循环输送

4. 流体配比、点胶系统配套泵件

区分两家容易混淆“富士技术”

1. 富士テクノ工業（富士技术工业）：泵、液压马达，流体零部件

2. Fasford Technology（富士技术）：封测固晶机（Die Bonder），富士集团旗下半导体设备厂