Fuji‑Techno SMP 超级无脉动计量泵 核心优点

基于其特殊凸轮强制驱动三联柱塞结构，对比普通隔膜泵、普通曲轴三柱塞计量泵，优势集中在脉动、计量精度、压力适应性、工艺稳定性。

1. 本体极低脉动，大多工况可取消脉冲阻尼器

• 依靠定制凸轮曲线三根柱塞流量动态补偿，机械本体实现极低脉动输出，不需要额外脉冲缓冲罐 / 阻尼器。

• 消除脉动带来的压力波动：避免涂布膜厚条纹、微反应器流量冲击、喷嘴喷雾粒径抖动、传感器读数跳动。

普通往复泵即便多缸，依然需要后端阻尼器，阻尼器会带来死体积、维护、响应滞后问题，SMP 可以规避这些痛点。

2. 优异的计量精度与流量线性

• 流量和主轴转速高度线性，重复计量精度 ±0.1%。

• 出口压力波动、介质粘度变化，对吐出流量影响很小。

• 调速改变流量，工艺重现性好，适合小试→中试→量产工艺迁移。

3. 高压工况性能稳定，无弹簧部件劣化问题

• 柱塞前进、后退全部由凸轮机械强制驱动，无复位弹簧。

• 高压下不会发生弹簧变形、疲劳，高压状态依然保持低脉动与计量精度。

• 可支持较高工作压力，适配连续流反应、高压进料、模头涂布等高压工艺。

4. 吸排液动作可控，气蚀倾向低

• 凸轮轮廓同时优化吸入行程速度，降低吸入侧瞬时流速，改善吸入性能，降低气蚀风险。

• 阀门启闭平缓，减少阀座冲击磨损，延长阀组件寿命。

5. 材质选择丰富，适配多类苛刻介质

泵头可选用 SUS316L、哈氏合金、钛材、PFA/PTFE 衬里，可输送：

• 强酸、强腐蚀药液（半导体光刻配套药液、蚀刻相关试剂）

• 溶剂、对水敏感化学品、各类树脂、胶粘剂 适合半导体、制药、精细化工腐蚀性工况。

6. 流量范围覆盖广，模块化，支持定制

• 从小流量实验室机型 (HYM 系列) 到中大流量工业量产机型 (HYSD/HYSB) 齐全。

• 可做多泵头同步驱动、特殊泵头改造、防爆、高低温配套。

• 支持连续长期稳定运转，适合 24h 量产产线。

7. 系统结构简化

省去脉冲阻尼器，系统死体积减小； 对微反应、小流量精密涂布场景，死体积小意味着换液快、残留少、批次切换效率高。