日本Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵吸气口ISO-R63

日本Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵吸气口CF63、(KF40)

日本Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵排气口KF16

日本Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵吸气口ISO-R100

可调位复合分子泵特点

自由安装位置

尺寸紧凑

节能减排

快速启动

可快速排气停止

与大气入口兼容

可串行通讯

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・各种电子零件的制造

・分析测试设备

・管材制造、光学零件制造

・加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。