原装TG390ML低振动型涡轮分子泵Osaka Vacuum大阪真空

原装TG420ML低振动型涡轮分子泵Osaka Vacuum大阪真空

磁力轴承式涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特点

• 省电设计

• 操作数据、着陆次数、型号信息等可以保留在主机中 *即使在检修期间更换控制器，数据也可以保留。

• 多种通讯规格：并行I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

• 符合国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE

目的

半导体制造设备

FPD制造设备

太阳能电池制造设备

玻璃/镜片等光学零件加工

胶片加工

加速器/空间环境测试设备