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磁力轴承式涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特点
省电设计
操作数据、着陆次数、型号信息等可以保留在主机中 *即使在检修期间更换控制器，数据也可以保留。
多种通讯规格：并行I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
符合国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE
目的
半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学零件加工
胶片加工
加速器/空间环境测试设备