日本Osaka Vacuum大阪真空FPD制造设备TGkine2205M-B复合分子泵
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集成控制器/电源
省电设计
节省空间
兼容IP54标准
通讯规格多样
符合国际标准
目的
半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学零件加工
胶片加工
加速器/空间环境测试设备
涡轮分子泵
涡轮分子泵由动叶片和静叶片的多级组合组成。 叶片倾角与旋转方向的关系如下图所示。
来自高真空侧的气体分子在进入转子叶片并离开时试图朝各个方向前进。
然而，由于叶片的倾斜和旋转，它们被引导至后级，同时沿有利于穿过定子叶片的方向。