玉崎Osaka Vacuum大阪真空TG203油润滑复合分子泵

玉崎Osaka Vacuum大阪真空TG553油润滑复合分子泵

玉崎Osaka Vacuum大阪真空TG1003复合分子泵 润滑滚珠轴承

■耐腐蚀性气体排出的化学型

■抵抗意外大气进入的结构

■ 抗外部冲击能力强

■可进行串行通信

■安全标准

NRTL/SEMI-S2/CE

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・各种电子零件的制造

・管材制造、光学零件制造

・加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*对于清洁工艺，请选择TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。