玉崎Osaka Vacuum大阪真空TG203油润滑复合分子泵

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玉崎TG1813水冷式涡轮分子泵Osaka Vacuum大阪真空

玉崎TG2813水冷式涡轮分子泵Osaka Vacuum大阪真空

玉崎TG3213 化学型复合分子泵涡轮分子泵 Osaka Vacuum

玉崎TG3413化学型复合分子泵涡轮分子泵 Osaka Vacuum

■耐腐蚀性气体排出的化学型

■抵抗意外大气进入的结构

■ 抗外部冲击能力强

■可进行串行通信

■安全标准

NRTL/SEMI-S2/CE

目的

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・各种电子零件的制造

・管材制造、光学零件制造

・加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*对于清洁工艺，请选择TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。