日本高压缩涡轮分子泵STC70FR013大阪真空，Osaka Vacuum
日本高压缩涡轮分子泵STC70FR005大阪真空，Osaka Vacuum日本高压缩涡轮分子泵STC70FR013大阪真空，Osaka Vacuum● 配备高压缩涡轮分子泵TG70F！● 根据要抽真空的容器的大小 ，可以从两种类型的辅助泵（隔膜泵）中进行选择！● 节省空间的桌面尺寸设计！● 适合研究设备的简单排气设备！全级螺旋槽（螺纹槽）结构能够在中、低真空区域排出大量气体可承受超过30万次大气层
日本高压缩涡轮分子泵STC70FR005大阪真空，Osaka Vacuum
日本高压缩涡轮分子泵STC70FR013大阪真空，Osaka Vacuum
● 配备高压缩涡轮分子泵TG70F！
● 根据要抽真空的容器的大小 ，可以从两种类型的
辅助泵（隔膜泵）中进行选择！
● 节省空间的桌面尺寸设计！
● 适合研究设备的简单排气设备！
全级螺旋槽（螺纹槽）结构
能够在中、低真空区域排出大量气体
可承受超过30万次大气层再入
安全规格：NRTL/SEMI-S2
用途
半导体制造
电子枪排气、离子源排气
表面处理、表面改性
各种电子零件制造
管材制造、光学零件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
热处理
研究与开发
涡轮分子泵
涡轮分子泵由动叶片和静叶片的多级组合组成。 叶片倾角与旋转方向的关系如下图所示。
来自高真空侧的气体分子在进入转子叶片并离开时试图朝各个方向前进。
然而，由于叶片的倾斜和旋转，它们被引导至后级，同时沿有利于穿过定子叶片的方向。