玉崎Osaka Vacuum大阪真空风冷系列干式真空泵FR060D

日本Osaka Vacuum大阪干式真空泵进气口KF（NW）40

日本Osaka Vacuum大阪干式真空泵排气口KF（NW）40

日本Osaka Vacuum大阪干式真空泵ER100D轻负载和清洁工艺排气

■可在大气压下连续运行

开放时排气速度800L/min

■可吸入水蒸气

水蒸气处理量500g/hr

■缩短排气时间

到到达附近为止维持一定排气速度

■空冷规格

用途

・小型实验排气用

・负载锁定室、搬运

・分析・测量装置的排气

・吸附・搬运

・加速器的排气

・密封・密封

・电子枪源・离子枪源排气

・干燥

·溅射蒸镀等PVD装置排气

・小型炉排气

・TMP等高真空泵的辅助泵