日本大阪干式真空泵DSP251便携式，体积小Osaka Vacuum

便携式，体积小，重量轻，抗外界干扰。正时无齿轮结构实现轻量化。

标准配备气镇机构，提高使用便利性。由于是风冷式，所以不需要准备冷却水。

无油，正时无齿轮结构实现了不需要润滑油的设计。

低噪音

正时无齿轮结构消除了机械噪音。外盖具有隔音功能。

采用低振动

螺杆转子，消除排气脉动。

与节能

竞争对手相比，实现低功耗。

清洁排气

与油旋转真空泵不同，不会出现油蒸气或颗粒的回流，因此可实现极其清洁的排气。

高速抽气

实现接近大气压的高抽气速度。

符合安全标准 CE

目的

扫描电镜、光刻

医用器材

装载锁/传送室排气

分析设备

加速器、离子源、电子枪排气

一般工业

物理气相沉积

研发