日本TAKEDA-RIKA竹田理化工业混合激光显微镜OPTELICS® HYBIRID+

使用激光和白光的流行混合共焦显微镜已经进一步发展！通过采用两个共焦光学系统，

可以实现从低倍率到高倍率范围的高质量观察和高精度三维测量。
此外，还可以通过一台装置实现光学干涉形状测量、反射分光膜厚测量等多种功能。
■ 使用白光进行共焦彩色观察
■ 使用紫激光进行高倍率、高分辨率观察
　配备对透明物体较强的 6 波长光（436、486、514、546、578、633 nm）
■ 高速三维测量最高速度为120帧/秒■
追求易用性并辅助测量的新型图像分析软件■
微分干涉观察，可观察微小的凹凸
■ 光学干涉形状测量，可测量微小的凹凸
■ 反射分光膜厚甚至可以测量薄膜厚度的测量
<可选>
■ 独创的自动测量软件，可以自动测量各种基板的表面形状
■ 独创的自动缺陷检查软件“AI Inspection”，可以进行各种基板的检查