SHINKO SEIKI干式螺杆真空泵SSH100配备高性能DCBL电机的节能泵

神港精机SHINKO SEIKI干式螺杆真空泵SSH150内置控制器

神港精机SHINKO SEIKI干式螺杆真空泵SSH200半导体制造

[特点]

●采用高效直流无刷电机

通过控制直流无刷电机的转速，降低启动电流，即使在正常运行时，

规格也允许您在“POWER MODE”和“ECONOMY MODE”之间进行选择。 （即使在驾驶时也可以切换）。

此外，我们消除了50/60Hz性能的地区差异，实现了无赫兹。

生态 每年减少二氧化碳排放量约 1,400 kg*

*与感应电机相比 每年运行约 9,000 小时

●内置控制器

配备泵控制器，多种保护功能，也可进行外部控制。

[用途]

- 半导体制造、电子元件制造（蒸镀、溅射、蚀刻、后处理设备等）

- 一般产业（吸附输送、气体置换、密闭排气、灭菌等）

- 研究开发（蒸发器） 、环境试验机等）