日本测温标签450-132适合测量晶圆表面温度Micron温度贴
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它不受水、蒸汽、气体、化学品等影响,只需粘贴即可准确记录温度。
◆用 Kapton 薄膜覆盖,防止等离子气氛
◆背面印刷可防止印刷油墨在真空中飞散(最大限度地减少脱气)
◆无需像传统类型那样重叠 Kapton 胶带,减少工作时间(是传统 441 的 1/3)系列)
提高贴附精度
◆ 从标签边缘到温度计中心2mm。可测量晶圆边缘温度。
●当指示灯的琥珀色达到指定温度时,变为黑色。
●永久记录是可能的,因为它是不可逆的。
●从43℃到193℃,增量约为5℃。
●精度±1%(100℃以下±1℃)
*精度和反应速率基于1个大气压下的熔点。
●不受水、蒸汽、气体、化学品等影响。