代理！OHKURA大仓易用性、高性能于一体式质量流量计MF5100B

代理！OHKURA大仓易用性、高性能于一体式质量流量计MF5111B

玉崎-OHKURA大仓质量流量计MF5141B宽流量范围、高温稳定性

玉崎-OHKURA大仓质量流量计MF5151B宽流量范围、高温稳定性

玉崎-OHKURA大仓大流量质量流量计MF5112B软启动功能

玉崎-OHKURA大仓大流量质量流量计MF5142B软启动功能

OHKURA大仓质量流量控制器MF5152B内置软启动功能具有线性启动

OHKURA大仓质量流量控制器MF5113B内置软启动功能具有线性启动

MF5100B系列是一款集易用性和高性能于一体的质量流量计/质量流量控制器，

具有宽流量范围、高温稳定性和3种模式的软启动功能等特点。

特征

■流量范围广

我们的流量范围广，从最小5SCCM到最大400SLM。

■高可靠性

通过集成各电路并优化机械系统，尽管尺寸较小，但仍实现了高可靠性。

■软启动功能

内置软启动功能具有线性启动，时间可调（最长70秒），

并以3种模式运行（更改设置时、打开电源时、外部阀门打开时）关闭→打开）。

■高稳定性

温度稳定性为0.05%/℃，泄漏标准高达1×10 -10 Pa·m 3 /s（He）。