玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.4
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玉崎UNION联合光学非接触台阶测量机DH2(HISOMET Ⅱ)
玉崎UNION联合光学高精度非接触式高差测量装置DH2-AF
玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.1
玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.2
玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.4
Hisomet II 系列是一款采用光学焦点位置检测方法的非接触式步进测量显微镜。
通过采用精密调焦装置,任何人都可以轻松地高精度测量高度、深度、台阶等,
同时只需对准投影目标标记图像顶部和底部的垂直线即可观察测量点的表面状况这将是可能的。
无需担心变形、凹痕或划痕,因此适合测量 IC 和精密加工零件等电子元件。
镜体/ 支架 | 垂直移动范围 | 粗动140mm,细动10mm或25mm |
最大可观测高度 | 150毫米 | |
落射照明 | 目标标记(选择 5 种) 内置照明,无级音量调光, LED 照明 3W 白色 | |
透射照明 *可选 | 远心照明,无级音量调光, LED照明3W白光 | |
Z轴测量范围 | 10mm或25mm(取决于Z轴刻度选择) | |
Z轴测量精度 | 范围≦1μm(0~10mm规格)、范围≦2μm(0~25mm规格) *测量PLLWDM40×时 | |
镜筒 | 正立三目 | 倾斜角度 20° 正像,目镜调节范围 54-75mm,带 C 接口 |
左轮手枪 | 有4个孔 | 最多可连接 4 个物镜 |
物镜 | PL/PLLWD/ SPL系列 | 无限远校正物镜 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100× |
目镜 | NWF10X | 放大倍数 10X,视场数 16,包含偏心实线十字标线 |
阶段 | 行程量(X-Y) | 50×50・100×50・100×100・150×150・200×100・ 200×200・300×150・300×300mm |
测量精度 (工作台进给精度) | XY:(4+0.02L)μm L:测量长度(mm) | |
选项 | 防震台、相机、监视器、运算装置、测量软件、 AF装置(图像处理型) |