玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.4

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玉崎UNION联合光学非接触台阶测量机DH2(HISOMET Ⅱ)

玉崎UNION联合光学高精度非接触式高差测量装置DH2-AF

玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.1 

玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.2

玉崎UNION联合光学非接触式步进测量显微镜NA0.4


Hisomet II 系列是一款采用光学焦点位置检测方法的非接触式步进测量显微镜。

通过采用精密调焦装置,任何人都可以轻松地高精度测量高度、深度、台阶等,

同时只需对准投影目标标记图像顶部和底部的垂直线即可观察测量点的表面状况这将是可能的。

无需担心变形、凹痕或划痕,因此适合测量 IC 和精密加工零件等电子元件。



镜体/
支架
垂直移动范围粗动140mm,细动10mm或25mm
最大可观测高度150毫米
落射照明目标标记(选择 5 种) 内置照明,无级音量调光,
LED 照明 3W 白色
透射照明
*可选
远心照明,无级音量调光,
LED照明3W白光
Z轴测量范围10mm或25mm(取决于Z轴刻度选择)
Z轴测量精度范围≦1μm(0~10mm规格)、范围≦2μm(0~25mm规格)
*测量PLLWDM40×时
镜筒正立三目倾斜角度 20° 正像,目镜调节范围 54-75mm,带 C 接口
左轮手枪有4个孔最多可连接 4 个物镜
物镜PL/PLLWD/
SPL系列
无限远校正物镜 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100×
目镜NWF10X放大倍数 10X,视场数 16,包含偏心实线十字标线
阶段行程量(X-Y)50×50・100×50・100×100・150×150・200×100・
200×200・300×150・300×300mm
测量精度
(工作台进给精度)
XY:(4+0.02L)μm L:测量长度(mm)
选项防震台、相机、监视器、运算装置、测量软件、
AF装置(图像处理型)






联系电话:0755-28578111

周一~周五 8:30:00~18:00 周六 10:00~17:00

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