玉崎UNION联合光学 光学式非接触厚度·台阶测量装置THS-10
玉崎UNION联合光学 光学式非接触厚度·台阶测量装置THS-10THS-10 是一款非接触式厚度阶梯测量机,采用光学焦点位置检测方法,将两个显微镜光学系统(上、下)与使用目标标记方法的精密对焦单元相结合。在检查物体的准确位置和形状的同时,可以测量最大 25mm 的厚度和水平差。由于是光学式,因此操作简便,任何人只需将目标标记上方和下方的垂直线对齐即可轻松进行高精度测量。镜体/支架垂直移动范围粗动
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玉崎UNION联合光学 光学式非接触厚度·台阶测量装置THS-10THS-10 是一款非接触式厚度阶梯测量机,采用光学焦点位置检测方法,将两个显微镜光学系统(上、下)与使用目标标记方法的精密对焦单元相结合。在检查物体的准确位置和形状的同时,可以测量最大 25mm 的厚度和水平差。由于是光学式,因此操作简便,任何人只需将目标标记上方和下方的垂直线对齐即可轻松进行高精度测量。镜体/支架垂直移动范围粗动
玉崎UNION联合光学 光学式非接触厚度·台阶测量装置THS-10
THS-10 是一款非接触式厚度阶梯测量机,采用光学焦点位置检测方法,
将两个显微镜光学系统(上、下)与使用目标标记方法的精密对焦单元相结合。
在检查物体的准确位置和形状的同时,可以测量最大 25mm 的厚度和水平差。由于是光学式,
因此操作简便,任何人只需将目标标记上方和下方的垂直线对齐即可轻松进行高精度测量。
| 镜体/ 支架 | 垂直移动范围 | 粗动140mm,细动10mm或25mm |
| 最大可观测高度 | 150毫米 | |
| 落射照明 | 目标标记(选择 2 种) 内置照明,无级音量调光, LED 照明 3W 白色 | |
| Z轴测量范围 | 10mm或25mm(取决于Z轴刻度选择) | |
| Z轴测量精度 | 范围≦1μm(0~10mm规格)、范围≦2μm(0~25mm规格) *测量PLLWDM40×时 | |
| 镜筒 | 正立三目 | 倾斜角度 20° 正像,目镜调节范围 54-75mm,带 C 接口 |
| 物镜 | PL/PLLWD/ SPL系列 | 无限远校正物镜 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100× |
| 目镜 | NWF10X | 放大倍数 10X,视场数 16,包含偏心实线十字标线 |
| 阶段 | 行程量(X-Y) | 50×50・100×50・100×100(毫米) |
| 测量精度 (工作台进给精度) | XY:(4+0.02L)μm L:测量长度(mm) | |
| 选项 | 防震台、相机、监视器、运算装置、测量软件、 AF装置(图像处理型) | |