激光多普勒振动仪 ONOSOKKI小野LV-0381 显微镜测量单元

LV-0381是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的显微镜测量单元。

激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合，激光的投射焦点可调至最小φ2.5 µm，

微小物体的振动测量频率可达3 MHz(选配功能为20 MHz).配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机，

可以方便迅速地确定测量位置，并可记录静止画像。

可以用于微型机器，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）等微小构造物，

压电元件，陶瓷电容等电子器件等的振动状况，工作状况的非接触测量观测，进行高精度，高分辨率分析评价。

※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

应用领域

微型机器，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）的振动分析

微小结构的振动分析

压电元件，陶瓷电容等电子器件的状态测量

昆虫，生物的活动等现象测量

特长

5倍～50倍的动作距离的物象镜头，激光焦点直径最小φ2.5 µm以下

被测物与照射激光，经2个不同倍率（视野）的途径同时观测确定测量位置※1

可测量0.3 Hz～3 MHz（20 MHz）的振动频率（使用LV-1800）

从1维（表面振动）还可到功能扩展到2维（表面振动与面内1轴），3维（X，Y，Z）振动测量※2

配套激光多普勒振动仪 LV-1800，LV-1710*/LV-1720*/1720A*等

※1　LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

※2　关于功能扩展可商谈对应

系统组成