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型号*1SDX600SDT600SDX1200SDT1200SDX1800SDT1800SDH3000 *5SDH6000 *5
最大抽速
[L/min] *2
10,00018,00019,00030,00050,000100,000
极限压力
[Pa] *2
0.50.30.5
氮气流量[SLM]0~800-120
冷却水流量[L/min]3.04.03.04.03.04.04.04.0
消耗功率 [kW] *31.53.01.653.152.13.33.33.7
外形尺寸 [mm] *4L6956958509101050
285285380420515
H850850950900950






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