日本进口SDL20E50半导体制造工艺干式真空泵Kashiyama樫山工业
日本进口SDL12E50半导体制造工艺干式真空泵Kashiyama樫山工业日本进口SDL20E50半导体制造工艺干式真空泵Kashiyama樫山工业主要型号规格/型号SDL12E50SDL20E50SDL36E60SDL3600最大抽速 [L/min] *125,00040,00060,00060,000干泵最大抽速 [L/min] *18,0008,00010,00012,500极限压力 [Pa
日本进口SDL12E50半导体制造工艺干式真空泵Kashiyama樫山工业
日本进口SDL20E50半导体制造工艺干式真空泵Kashiyama樫山工业
主要型号
| 规格/型号 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 |
| 最大抽速 [L/min] *1 | 25,000 | 40,000 | 60,000 | 60,000 |
| 干泵最大抽速 [L/min] *1 | 8,000 | 8,000 | 10,000 | 12,500 |
| 极限压力 [Pa] *1 | 0.8 | |||
| 电源电压（50/60Hz） | 三相AC200~220V、380~440V | |||
| 外形尺寸 [mm] 长×宽×高 | 1000×520×1050 | 1370×850×1295 | 1370×600×1295 | |
| 质量[公斤] | 645 | 800 | 920 | 950 |