日本Hugle藤宫 紫外线照射装置HS-3600固化半导体用

这是一种使用黑光作为光源的紫外线照射装置，是为了固化半导体用紫外线固化胶带而开发的。

产品概述

UV照射有两种类型：积分光量/照射时间模式。

每盏灯都受到监控，使维护管理变得容易。

与 LED 相比，黑光具有更宽的波长范围，可与多种 UV 胶带一起使用。

触摸屏操作方便，显示语言有日语和英语两种语言。

产品概述

易于移除

它比传统的铝环更轻、更薄，并且节省空间。

有各种尺寸可供选择，最大可达 12 英寸。

产品概述

・独特的结构使晶圆和胶带之间无气泡均匀粘合。

・配备充分考虑晶圆表面损伤的特殊载物台。

・可以转移晶圆和芯片。

・在日本工厂接受订制，也可对应特殊规格。

最大晶圆尺寸 6 英寸

可以使用各种切割框架

最大薄膜宽度 HS-7600：240 mm

舞台温度调节MAX 100℃

带切割胶带切割机构

可调节的粘着压力

能够转移晶圆和芯片