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金属隔膜减压阀，可用于掺杂、外延等半导体行业、
各种化学分析、特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。
特征
■清洁部件
隔膜与主体采用金属结合密封，所有产品均经过检漏、无油、无水、清洁。
■通用性高
高压、低压共8种类型，可进行面板安装、底部安装。
规格
| 物品 | 高压用 RD210A1□1□ | RD210A4□2□低压用 |
|---|---|---|
| 耐压性 | 最大24.5MPa | 最大2.94MPa |
| 使用的初级压力 | 最大14.7MPa | 最大2MPa |
| 设定压力范围 | 171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa | 171.6kPa 343kPa 686kPa |
| 有效孔口 | φ0.7 | φ2 |
| CV值 | 0.015 | 0.1 |
| 一次压力特性*1 | 0.5% *1 一次压力特性（设定压力变动范围/一次压力变动范围）×100值（10l/min时） | 1.3% *1 一次压力特性（设定压力变动范围/一次压力变动范围）×100值（10l/min时） |
| 再现性 | ±0.98kPa | |
| 滞后现象 | ±3.92kPa | |