日本PILLAR CMP工艺用渣浆泵PC-10MB用于沉降速度快金属系浆料

日本PILLAR CMP工艺用渣浆泵PC-20MB用于沉降速度快金属系浆料

日本PILLAR CMP工艺用渣浆泵PC-30MB泵内部液体积滞少

日本PILLAR泵内部液体积滞少 CMP工艺用渣浆泵PC-10MB-P1912

日本PILLAR泵内部液体积滞少 CMP工艺用渣浆泵PC-10MBT-P1919

日本PILLAR高度耐化学性CMP工艺用渣浆泵PC-20MB-P2519

日本PILLAR高度耐化学性CMP工艺用渣浆泵PC-20MBT-P2525

日本PILLAR波纹管泵 CMP工艺浆料用泵PC-40MB-LP25

型式

PC系列

类型

用于CMP工艺浆料

产品信息

所有接液部件均由氟树脂制成，使该泵具有高度耐化学性、耐热性和清洁性。

该产品设计适合 CMP 工艺浆料应用。

主要构成材料

接液部件：PFA、PTFE

主要用途

使用浆液的化学供给设备、清洗设备、CMP设备的循环管路

规格/规格信息

液体温度：10～100℃

最大吐出量：12、24、48L/min

供气压力：0.2～0.5MPaG

*使用前请务必阅读使用说明书。

类别

氟树脂制品/波纹管泵