日本PILLAR液压泵PC系列专用自动蓄能器PA-100H
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日本PILLAR液压泵PC系列专用自动蓄能器PA-C系列PA-C20MB
日本PILLAR液压泵PC系列专用自动蓄能器PA-C系列PA-C40MB
日本PILLAR液压泵PC系列专用自动蓄能器PA-100H
型式
PC系列
类型
用于CMP工艺浆料
产品信息
所有接液部件均由氟树脂制成，使该泵具有高度耐化学性、耐热性和清洁性。
该产品设计适合 CMP 工艺浆料应用。
主要构成材料
接液部件：PFA、PTFE
主要用途
使用浆液的化学供给设备、清洗设备、CMP设备的循环管路
规格/规格信息
液体温度：10～100℃
最大吐出量：12、24、48L/min
供气压力：0.2～0.5MPaG
*使用前请务必阅读使用说明书。
类别
氟树脂制品/波纹管泵