超声波流量计转换器 HLF810半导体工艺中纯水测量HONDA本多电子

超声波流量计转换器HLF820化学加工工艺测量HONDA本多电子

超声波流量计探测器HLFS01-04CMP浆液流量测量 HONDA本多电子

超声波流量计探测器HLFS01-06化学机械抛光 浆液流量测量 HONDA本多

概述

配备DSP（数字信号处理器）和独特的信号计算，

实现稳定的测量。利用

超声波测量流体流速，并根据流速计算流量。

在流体的上游和下游安装传感器，

根据各传感器正向和反向发射超声波时超声波

传播时间的差来确定流速，并将其转换为流量。

○由于配管内部没有任何结构，

因此可以以最小的压力损失测量流量。

○可以测量从低流速到高流速的宽范围。

特征

●配备DSP（数字信号处理器）和独特的信号计算，

实现稳定的测量。

●一台转换器可连接两台不同尺寸的探测器。

一个转换器最多可连接两个检测器，

对于在多个位置测量流量的设备来说，

节省空间且经济高效。除了测量不同流体的流量外，

还可以连接不同尺寸的探测器。

显示部分采用VFD显示。

显示屏采用 VFD（荧光显示管）

，可视性极佳。 [仅限 HLF820]

目的

・半导体工艺中纯水和超纯水的流量测量

・高腐蚀性化学涂层等各种化学加工工艺的流量管理

・CMP（化学机械抛光）浆液的流量测量