干式真空泵ESA500W用于抽取废气、滤液日本EBARA荏原
干式真空泵ESA500W用于抽取废气、滤液日本EBARA荏原可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵产品介绍ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，以及适合对大型腔室进行高速排气的排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气，设计紧凑，有
干式真空泵ESA500W用于抽取废气、滤液日本EBARA荏原
可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵
产品介绍
ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为
1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，
以及适合对大型腔室进行高速排气的
排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。
容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气，
设计紧凑，有耐腐蚀材料可供选择。
它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。
大型机型虽然排气量大，
但实现了安静运行和低振动，
并且还提供有机溶剂排气选件，
使其最适用于LCD溅射设备，真空干燥工艺，大型负载锁等。