马达直动式泵50×40FSGDV53.7备逆变器PM 电机泵 玉崎 EBARA荏原

马达直动式泵50×40FSHDV55.5备逆变器PM 电机泵 玉崎 EBARA荏原

马达直动式泵65×50FSEDV5.75备逆变器PM 电机泵 玉崎 EBARA荏原

65×50FSEDV51.5内置噪声滤波器电机泵 玉崎 EBARA荏原

65×50FSFDV52.2内置噪声滤波器电机泵 玉崎 EBARA荏原

备逆变器的 PM 电机泵

我们提供 PM（永磁）电机 + 逆变器（内置），

其外部尺寸与感应电机相同。

它降低了初始成本并有助于节省能源和空间。

可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵

产品介绍

ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为

1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，

以及适合对大型腔室进行高速排气的

排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。

容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气，

设计紧凑，有耐腐蚀材料可供选择。

它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。

大型机型虽然排气量大，

但实现了安静运行和低振动，

并且还提供有机溶剂排气选件，

使其适用于LCD溅射设备，真空干燥工艺，大型负载锁等。