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备逆变器的 PM 电机泵
我们提供 PM(永磁)电机 + 逆变器(内置),
其外部尺寸与感应电机相同。
它降低了初始成本并有助于节省能源和空间。
可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵
产品介绍
ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为
1,400L/min ~ 10,000L/min 的型号,
以及适合对大型腔室进行高速排气的
排气量为 20,000L/min ~ 80,000L/min 的型号。
容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气,
设计紧凑,有耐腐蚀材料可供选择。
它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。
大型机型虽然排气量大,
但实现了安静运行和低振动,
并且还提供有机溶剂排气选件,
使其适用于LCD溅射设备,真空干燥工艺,大型负载锁等。