全新正品 EBARA荏原永磁同步电机 水泵50LPSV6.75

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备逆变器的 PM 电机泵

我们提供 PM(永磁)电机 + 逆变器(内置),

其外部尺寸与感应电机相同。

它降低了初始成本并有助于节省能源和空间。


可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵


产品介绍

ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为

1,400L/min ~ 10,000L/min 的型号,

以及适合对大型腔室进行高速排气的

排气量为 20,000L/min ~ 80,000L/min 的型号。

容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气,

设计紧凑,有耐腐蚀材料可供选择。

它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。

大型机型虽然排气量大,

但实现了安静运行和低振动,

并且还提供有机溶剂排气选件,

使其适用于LCD溅射设备,真空干燥工艺,大型负载锁等。






联系电话:0755-28578111

周一~周五 8:30:00~18:00 周六 10:00~17:00

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