全新正品 EBARA荏原 感应电动机驱动 水泵50LPSV61.5

全新正品 EBARA荏原 感应电动机驱动 水泵50LPSV62.2

全新正品 EBARA荏原 Dry Vacuum Pump 干真空泵EV-S20(P/N）

全新正品 EBARA荏原 Dry Vacuum Pump 干真空泵EV-S50(P/N)

日本 EBARA荏原 Dry Vacuum Pump 干真空泵EV-S100(P/N)

日本 EBARA荏原 Dry Vacuum Pump 干真空泵EV-S200(P/N)

日本 EBARA荏原 半导体、液晶 干真空泵EV-M20N

日本 EBARA荏原 半导体、液晶 干真空泵EV-M102N

日本 EBARA荏原 半导体、液晶 干真空泵EV-M202N

日本 EBARA荏原干真空泵EV-M302N实现高负荷处理对应

EV-M型干真空泵

Dry Vacuum Pump

在半导体、液晶、太阳能电池单元制造工序中，产生反应副产物高负荷

处理流程，充分满足停机和降低运行成本的要求

是能回应的下一代干真空泵。

高负荷处理对应和节能性，在高水平上兼顾了相反的条件。

●根据工艺条件、排气速度的丰富产品阵容

●高维实现高负荷处理对应和功耗降低的兼顾

●支持腐蚀性气体（标准采用耐腐蚀材料）

产品介绍

ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为

1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，

以及适合对大型腔室进行高速排气的

排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。

容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气，

设计紧凑，有耐腐蚀材料可供选择。

它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。

大型机型虽然排气量大，

但实现了安静运行和低振动，

并且还提供有机溶剂排气选件，

使其适用于LCD溅射设备，真空干燥工艺，大型负载锁等。