日本原装 EBARA荏原干真空泵EV-M505SF支持腐蚀性气体

日本原装 EBARA荏原干真空泵EV-M805SF支持腐蚀性气体

日本原装 EBARA荏原干真空泵EV-M1205SF支持腐蚀性气体

日本原装 EBARA荏原干真空泵 EST10N采用螺杆型转子

EV-M型干真空泵

Dry Vacuum Pump

在半导体、液晶、太阳能电池单元制造工序中，产生反应副产物高负荷

处理流程，充分满足停机和降低运行成本的要求

是能回应的下一代干真空泵。

高负荷处理对应和节能性，在高水平上兼顾了相反的条件。

●根据工艺条件、排气速度的丰富产品阵容

●高维实现高负荷处理对应和功耗降低的兼顾

●支持腐蚀性气体（标准采用耐腐蚀材料）

产品介绍

ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的排气量为

1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，

以及适合对大型腔室进行高速排气的

排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。

容量为 10,000 L/min 或以下的型号适合轻气体排气，

设计紧凑，有耐腐蚀材料可供选择。

它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。

大型机型虽然排气量大，

但实现了安静运行和低振动，

并且还提供有机溶剂排气选件，

使其适用于LCD溅射设备，真空干燥工艺，大型负载锁等。