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CERMA热精密株式会社ULA 1005-xxxx/对位机 / 量子用UV-LED光学ULA 4005-xxxx特长可根据各种光学规格进行定制波长：365nm, 385nm, 405nm各种混合可能接近度/接触校准器的光源和可替换对于每个出力水银灯，实现同等以上的照度实现压倒性的运行成本降低构成例模型ULA 1005-xxxxULA 4005-xxxx波长［nm］波长h,i-线h,i-线曝光区域［
CERMA热精密株式会社ULA 1005-xxxx/对位机 / 量子用UV-LED光学ULA 4005-xxxx
特长
可根据各种光学规格进行定制
波长：365nm, 385nm, 405nm各种混合可能
接近度/接触校准器的光源和可替换
对于每个出力水银灯，实现同等以上的照度
实现压倒性的运行成本降低
构成例
| 模型 | ULA 1005-xxxx | ULA 4005-xxxx |
| 波长［nm］ 波长 | h,i-线 | h,i-线 |
| 曝光区域［mm］ 曝光区域 | 200 直径 | 260 平方 |
| 校准角［度］校准角 | 2.3 | 2.5 |
| declination angle declination angle | ＜±1 | ＜±1 |
| 照度均一性 照度均匀性 | <3% | <3% |
| i线 照度［mW/㎠］ i线强度 | 40 | 60 |
| 单元尺寸［毫米］ 单元尺寸 | 400×905×460 | 600×1600×800 |
UV-LED光源VS 水银灯 运行成本比较表
| 项目 | UV-LED光学系 | 水银灯光学系统（2kW） | 水银灯光学系统（4.3kW） |
| 灯具费用※1 | ¥0 | 240万日元 | 四千万日元 |
| 电费※2 | 33,780日元 | 331,100日元 | 711,900日元 |
| CR维护费※3 | – | – | – |
| 年間合計 | 33,780日元 | 2,731,100日元 | 4711900日元 |
| 年間CO2排放量※4 | 813千克 | 7,971千克 | 17,138千克 |
※1：［￥300,000（2kW灯泡销售价格）］ x ［每年更换8次］ ＝ ￥2,400,000
：［￥500,000（4.3kW灯泡销售价格）］ x ［每年更换8次］ ＝ ￥4,000,000
※2：［0.375kW（LED）］ x ［点亮时间96小时/年］ x ［18.9日/日（平均电费单价）］ ≒ ￥680
：［0.2kW（冷水机）］ x ［运行时间24＊365小时/年］ x ［18.9日/日（平均电费单价）］ ≒ ￥33,100
：［2kW（水银灯）］ x ［点亮时间24＊365小时/年］ x ［18.9日/日（平均电费单价）］ ≒ ￥331,100
：［4.3kW（水银灯）］ x ［点亮时间24＊365小时/年］ x ［18.9日/日（平均电费单价）］ ≒ ￥711,900
※3： 热量的差异导致排气量不同。各公司的维护费用存在成本差异。
※4：［年用电量］ x ［CO2排放系数 0.455（东京电力）］ ＝ kg
