EBARA荏原EV-S型 低功耗小型干式真空泵EV-S20 EV-S20P/N
EBARA荏原EV-S型 低功耗小型干式真空泵EV-S20EV-S20P/NEV-S型低功耗小型干式真空泵低功耗紧凑且轻便耐腐蚀材料选项可选N2清洗型无论频率（50/60 Hz）如何，泵送性能相同无油CE标记/SEMI-S2/NRTL可用联系咨询产品介绍凭借EBARA独特的转子设计和空转功能，EV-S系列实现了世界级的能效和小型化。有助于降低运行成本。通过增强的耐腐蚀选项，该设备名称提供了从轻负载
EBARA荏原EV-S型 低功耗小型干式真空泵EV-S20 EV-S20P/N
EV-S型
低功耗小型干式真空泵
产品介绍
凭借EBARA独特的转子设计和空转功能，EV-S系列实现了世界级的能效和小型化。有助于降低运行成本。通过增强的耐腐蚀选项，该设备名称提供了从轻负载工艺（如负载锁定和SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用。
规格
| 设备名称 | 单位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 |
| 排气速度 | L/min | 1670 | 1670 | 3300 | 3300 | 5000 | 5000 | 10000 | 10000 | 20000 | 20000 | |
| 极限压力 | Pa | 3.0 | 5.0 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
| 排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17～20 (2.4) | - | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | |||
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | ||
| 质量概值 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
*规格仅为示例。它们可能会因设备名称而异，因此请咨询详细信息。
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