功能

• 长期零稳定性 <±0.5% 全量程/年

• 稳定时间：300 毫秒 -<700 毫秒 或 700 毫秒 - <1 秒

• 满流率高达 300 slpm

• 全金属密封流道：可选5µ或10µ英寸Ra表面粗糙度

• 耐腐蚀的哈氏合金® T-Rise传感器提高了高温下的测量可重复性。

• MultiFloTM 气体和范围可编程性——无需从气体管线中移除MFC即可实现一种设备、数千种气体类型和范围组合，且不影响精度

• 本地显示

• 可选的SDS气体供应

• 可选高温模型

• DeviceNetTM, RS-485 L-协议和模拟接口

应用

• 半导体刻蚀设备

• 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

• 物理气相沉积（PVD）系统

• 外延工艺系统

• 先进的条带工艺

益处

• 高性能组件经过七次半导体行业标准马拉松测试，以确保可靠性。

• 全金属、耐腐蚀的流道，配合减小表面积和无死角设计，确保在吹扫步骤中能更快干燥。

• 借助 MultiFloTM，可在 60 秒内设置新的工艺气体和/或范围——无需再拆卸和校准 MFC

• 高度可配置的平台支持大多数品牌金属密封MFC的即插即用替换和升级，包括前Celerity、Mykrolis、Tylan和UNIT品牌。

• 便捷的用户显示屏和独立的诊断/服务端口有助于设备的安装、监控和故障排除。

• GF120 安全输送系统（SDS®）是布鲁克斯公司用于输送用于植入和蚀刻工艺的亚大气安全输送系统（SDS）气体的先进低压降质量流量控制器。

• GF120xHT高温质量流量控制器可承受高达150°C的工作环境。