GF100 金属密封质量流量控制器与流量计

高纯度流道。卓越的性能、可靠性和重复性。

快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体——这就是GF100系列金属密封质量流量控制器和流量计所提供的性能。该系列专为半导体、MOCVD及其他气体流量控制应用而设计，在可靠性方面超越了半导体行业标准，确保了随时间推移的可重复、高度稳定的性能。标准MultiFloTM 技术使一个MFC能够支持数千种气体类型和范围组合，而无需将其从气体管线中取出或牺牲精度。

结果是：在行业内最高水平的工艺气体纯度下，提升了工艺的灵活性和效率，以帮助实现产量和生产力的最大化。

功能

• 长期零稳定性 <±0.5% 全量程/年

• 稳定时间：300 毫秒 -<700 毫秒 或 700 毫秒 - <1 秒

• 满流率高达 300 slpm

• 全金属密封流道：可选5µ或10µ英寸Ra表面粗糙度

• 耐腐蚀的哈氏合金® T-Rise传感器提高了高温下的测量可重复性。

• MultiFloTM 气体和范围可编程性——无需从气体管线中移除MFC即可实现一种设备、数千种气体类型和范围组合，且不影响精度

• 本地显示

• 可选的SDS气体供应

• 可选高温模型

• DeviceNetTM, RS-485 L-协议和模拟接口

应用

• 半导体刻蚀设备

• 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

• 物理气相沉积（PVD）系统

• 外延工艺系统

• 先进的条带工艺

益处

• 高性能组件经过七次半导体行业标准马拉松测试，以确保可靠性。

• 全金属、耐腐蚀的流道，配合减小表面积和无死角设计，确保在吹扫步骤中能更快干燥。

• 借助 MultiFloTM，可在 60 秒内设置新的工艺气体和/或范围——无需再拆卸和校准 MFC

• 高度可配置的平台支持大多数品牌金属密封MFC的即插即用替换和升级，包括前Celerity、Mykrolis、Tylan和UNIT品牌。

• 便捷的用户显示屏和独立的诊断/服务端口有助于设备的安装、监控和故障排除。

• GF120 安全输送系统（SDS®）是布鲁克斯公司用于输送用于植入和蚀刻工艺的亚大气安全输送系统（SDS）气体的先进低压降质量流量控制器。

• GF120xHT高温质量流量控制器可承受高达150°C的工作环境。