日本NGK Energy 传感器 TF-21 接收器 DTF-201
日本NGK Energy 传感器TF-21 接收器DTF-201产品主要特点由于传感器、接收器、采样机构和滤波器一体化的结构，安装后即可立即测量。轻巧且小型，易于安装在各种设备上支持微量浓度测量（最小：0～10ppm范围）用途半导体制造设备、各种N2炉内气氛测量、空气分离装置规格形式SH-30＊系列传感器TF-21接收器DTF-201测量原理氧化锆浓淡电池方式测量范围最小0～10ppm ～ 最大0
日本NGK Energy 传感器 TF-21 接收器 DTF-201
产品主要特点
由于传感器、接收器、采样机构和滤波器一体化的结构，安装后即可立即测量。
轻巧且小型，易于安装在各种设备上
支持微量浓度测量（最小：0～10ppm范围）
用途
半导体制造设备、各种N2炉内气氛测量、空气分离装置
规格
| 形式 | SH-30＊系列 | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 | |
| 接收器 | DTF-201 | |
| 测量原理 | 氧化锆浓淡电池方式 | |
| 测量范围 | 最小0～10ppm ～ 最大0～25％ 零点固定可任意选择4个量程 ※输出量程可设置为 0～10ppm ～ 0～100％ | |
| 校正 | エア点 ＋ MAX.4点校正可能（可对每个测量范围进行校正） | |
| 模拟输出 | DC 4～20mA 非绝缘输出，负载电阻600Ω以下 DC 0～1V / DC 0～5V/ DC 0～10V 1点选择（非绝缘输出） | |
| 样品气体・校准气体流量 | 0.3L/min、0.5L/min | |
| 精度 | 重复性 | ±1％FS（0～1％范围以下）、±0.5％FS（0～1％范围以上） |
| 直线性 | ±3％FS（0～100ppm范围以下）、±2％FS（0～1％范围以下）、±4％FS（0～1％范围以上） | |
| 响应时间 | 30秒以下（0～1％范围以下）、10秒以下（0～1％范围以上）（校正气体切换导致的90％响应） | |
| 漂移 | ±2％FS/周 以下 | |
| 电源 | AC规格：AC 100～240V±10％ 50/60Hz 50VA DC规格：DC 24V±10％ 50W | |
| 接点输入 | レンジ切换（无电压接点） | |
| 接点输出 | 无电压继电器接点输出（AC 30V、DC24V 3A 负载） 接点数：最大4个输出 选择内容：レンジエコーバック1/レンジエコーバック2/浓度上限警报/浓度下限警报 | |
| 切换频道 | 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 | |
| 输出保持功能 | 输出保持值设置：无保持※ / 任意值 / 异常发生前5秒的值 ※预热期间、分析仪异常发生期间保持 | |
| 浓度上下限警报 | 上限警报：0.0～9990.0ppm 或 0.0～100.0％ 可设置 下限警报：0.0～9990.0ppm 或 0.0～100.0％ 可设置 | |
| 通信功能 | 根据机型，通信功能有所不同。（RS-232C通信、EtherCAT®通信等） 详情请咨询。 | |
注）上述表格为代表性规格。各机型规格不同，详情请咨询。