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GN系列
不会在真空室等真空环境中排出有问题气体的接触式传感器
GN系列仅使用不排气的零件制造，可在10-5Pa的高真空环境中使用。
传感器在无尘室制造，防污染措施彻底。在半导体生产线等中被大量采用。
・可使用上限温度为120度
・不使用润滑脂或润滑油。
| 重复精度 | 3μm / 10μm（范围） |
|---|---|
| 接触力 | 0.5Ｎ～1.5Ｎ |
| 外径 | 5～16mm |
| 总长 | 18～47mm |
| 方法 | 直进・偏角・滑动 |
| 行程 ※全部动作 | 1.0ｍｍ～5ｍｍ |
| IP规格・防护结构 | IP40 |
| 使用温度范围 | 0～120℃ |
| 接点构造 | 接点形 |
| 动作形态 / 输出 | A : NO ／ B : NC |
| 预行程 | 无～0.3ｍｍ |
| 迟滞 | 0 |
| 接点精度寿命 | 300万次 |
| 接触头材质 | A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45 |
| 外壳材质 | SUS304 |