玉崎供应SHIBAURA芝浦 GPW-2皮拉尼压力计 广域测量
玉崎供应SHIBAURA芝浦 真空计GPW-1皮拉尼压力计玉崎供应SHIBAURA芝浦 GPW-2皮拉尼压力计 广域测量GPW系列特点广域测量：可测量大气压至5×10 -2 Pa的广域节省布线：集成传感器和控制器可减少布线、空间和功耗。提高可视性：配备 LED，可让您检查异常情况可一键式调整：可一键式进行气压调整和零点调整。可维护性：易于更换探头灯丝材料： 铂(Pt)：灯丝材料采用具有高耐腐蚀性的
玉崎供应SHIBAURA芝浦 真空计GPW-1皮拉尼压力计
玉崎供应SHIBAURA芝浦 GPW-2皮拉尼压力计 广域测量
GPW系列特点
广域测量：可测量大气压至5×10 -2 Pa的广域
节省布线：集成传感器和控制器可减少布线、空间和功耗。
提高可视性：配备 LED，可让您检查异常情况
可一键式调整：可一键式进行气压调整和零点调整。
可维护性：易于更换探头
灯丝材料： 铂(Pt)：灯丝材料采用具有高耐腐蚀性的铂。
测量值输出信号：压力0～10V的对数输出为标准配置。
提高抗冲击性：具有高抗冲击性的设计结构
控制输出信号：可输出两个设定点（GPW-1）
串行通讯规格：可进行RS-232C/RS-485通讯（仅限GPW-2）
兼容标准：符合CE标准
目的
用于太阳能电池、FPD、半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过程控制。
用于熔炉等各种工业设备低真空区域的过程控制
用于直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的低真空区域的过程控制。
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可连接探头 | 一 | ||
| 自适应探头 | SWP-16 (NW-16) | ||
| 测量压力范围 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 5 Pa | ||
| 测量精度* | 1 × 10 -1～ 1 × ×10 4 Pa ：± 10 % 5.0 × 10 -2～ 1.0 × 10 -1 Pa、1 × 10 4 Pa ～ 1 × 10 5 Pa ： ± 20 % | ||
| 重复性 | 1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2% | ||
| 采样时间 | 50 ms 5次移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压直流0-10V | ||
| 压力指示（日志输出）1.7 V 至 8.0 V，1V/位 | |||
| 更新时间 | 50毫秒 | ||
| 控制输入信号 | 集电极开路输入、负逻辑 ADJ调节（零点调节、大气压调节） | - | |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出 负逻辑 [额定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW] 错误信号 设定点 1、2 | - | |
| 设定点监视器 | 设定点 1、2：0 至 10 V 日志输出 | - | |
| 串行通讯规格 | - | RS232C/RS485 | |
| LED显示屏 | 电源/错误：电源、错误 LED | ||
| SET-1：设定点 1 LED SET-2：设定点 2 LED | - | ||
| 长丝材料 | 铂 | ||
| 工作温度限制 | 10～40℃ | ||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（无冷凝） | ||
| IP防护等级 | IP30（传感器单元） | ||
| 安装位置 | 没有限制 | ||
| 电源电压 | DC 18 V 至 30 V，2 W（通电时为 4.8 W） | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺丝） | ||
| 大量的 | 150 克（含 SWP-16） | ||
| 外形尺寸（电源部分）W×D×H（mm） | 70×46×28 | ||
| 兼容标准 | C.E. | ||