玉崎供应 SHIBAURA芝浦 多离子计GMi-1 真空计
玉崎供应 SHIBAURA芝浦 多离子计GMi-1 真空计GMi系列特点广域测量可测量从大气压到高真空区域（10 5～ 5×10 -8 Pa）（同时使用GPM和GAM时）可以连接具有不同测量范围的测头。使用多离子计可以让您根据应用选择测头。准确的气压测量可以轻松准确地确认气压（使用GAM时）对环境影响低只需更换探头即可根据需要进行更换，从而降低了运行成本。提高可视性配备 LED，可让您检查异常情况
玉崎供应 SHIBAURA芝浦 多离子计GMi-1 真空计
GMi系列特点
广域测量可测量
从大气压到高真空区域（10 5～ 5×10 -8 Pa）（同时使用GPM和GAM时）
可以连接具有不同测量范围的测头。使用
多离子计可以让您根据应用选择测头。
准确的气压测量
可以轻松准确地确认气压（使用GAM时）
对环境影响低
只需更换探头即可根据需要进行更换，从而降低了运行成本。
提高可视性
配备 LED，可让您检查异常情况
可维护性
易于更换探头
各模式规格（组合模式）
GMi+GPM（离子计+皮拉尼计）
GMi+GPM+GAM（离子计+皮拉尼计+大气压传感器）
测量值输出信号
压力为0～10V输出（Log输出）
可输出 3 个控制输出信号设定点 (GMi-1)
串行通信规格
可进行RS232C/RS485通信(GMi-2)
符合CE标准
目的
用于太阳能电池、FPD、半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。
确认直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力
高真空/超高真空设备压力测量
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 规格 | 标准规格 | 串行通讯规格 | |
| 适应性强的多离子规传感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) | ||
| 可连接 | 传感器 多离子压力计 传感器：1 个 皮拉尼压力计 GPM：1 个（可选） 大气压力传感器 GAM：1 个（可选） | ||
| 采样时间 | 70 ms 4次移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10 V，Log 输出 0.75 V / 1 位 压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 } *对于设定点调节 兼作输出电源（仅限 GMi-1） | ||
| 更新时间 | 50毫秒 | ||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集电极开路输入、负逻辑操作 *FIL ON/OFF 信号的使用方法因模式而异。 | - | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点 1/2/3 发射有效 灯丝功率监控 额定值：24 VMAX、50 mAMAX、 饱和电压 1 V | - | |
| 串行通讯规格 | - | RS232C/RS485 | |
| LED显示屏 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） FIL：发射有效 LED | ||
| SET1：设定值 1 LED SET2：设定值 2 LED SET3：设定值 3 LED | - | ||
| 发射电流 | 1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA | ||
| 脱气 | 电子轰击法（电子轰击）1mA，330V | ||