日本SHIBAURA芝浦 VAD-25KL高真空阀 耦合型
原装SHIBAURA芝浦 VHD-25KL高真空阀 联轴器型日本SHIBAURA芝浦 VHD-40KL高真空阀 联轴器型日本SHIBAURA芝浦 VHD-50KL高真空阀 耦合型日本SHIBAURA芝浦 VAD-25KL高真空阀 耦合型型式TypeVAD-25KLVAD-40KLVAD-50KL口径CaliberNW25NW40NW50Amm164188214Bmm455565Cmm---Dmm4
原装SHIBAURA芝浦 VHD-25KL高真空阀 联轴器型
日本SHIBAURA芝浦 VHD-40KL高真空阀 联轴器型
日本SHIBAURA芝浦 VHD-50KL高真空阀 耦合型
日本SHIBAURA芝浦 VAD-25KL高真空阀 耦合型
| 型式 | Type | VAD-25KL | VAD-40KL | VAD-50KL |
|---|---|---|---|---|
| 口径 | Caliber | NW25 | NW40 | NW50 |
| A | mm | 164 | 188 | 214 |
| B | mm | 45 | 55 | 65 |
| C | mm | - | - | - |
| D | mm | 40 | 55 | 75 |
| E | mm | 71 | 77 | 83 |
| F | mm | 35 | 45 | 45 |
| G | mm | 85 | 103 | 123 |
| H | mm | 65 | 80 | 90 |
| コンダクタンス | L/s | 15 | 45 | 85 |
| ボディ・シール部漏れ量 | Pa m3/s | 1.3 × 10-10 以下 | ||
| バルブシート面差圧 | MPa | 0.1 | ||
| A：ボディ B：シール部・材質 | A：SUS304 B：フッ素ゴム | |||
| 圧縮空気圧力 | MPa | 0.29 ～ 0.49 | ||
| ライフサイクル | 100 万回（常温時） | |||
| ベーキング温度 | ℃ | 70 | ||
| エアーシリンダー容量 | mL | 15 | 30 | 40 |
| 質量 | Kg | 1.2 | 2.0 | 2.5 |