日本SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-360YⅡ
SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-180YⅡ日本SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-360YⅡDRP系列特点由于采用两级系统，极限压力较低。采用电机直连式，体积小、重量轻，产生的粉尘少，保持环境清洁。振动和噪音较小易于维护的结构配有气镇阀（蒸汽处理阀），可防止水蒸气和冷凝性气体的排出。使用示例溅射设备气相沉积设备各种等离子装置真空炉各种真空测试设备模型单元DRP-180YⅡDRP-3
SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-180YⅡ
日本SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-360YⅡ
DRP系列特点
由于采用两级系统，极限压力较低。
采用电机直连式，体积小、重量轻，产生的粉尘少，保持环境清洁。
振动和噪音较小
易于维护的结构
配有气镇阀（蒸汽处理阀），可防止水蒸气和冷凝性气体的排出。
使用示例
溅射设备
气相沉积设备
各种等离子装置
真空炉
各种真空测试设备
| 模型 | 单元 | DRP-180YⅡ | DRP-360YⅡ | DRP-360Ⅲ |
|---|---|---|---|---|
| 结构 | 包括旋转叶片式 2 级 气镇阀 | |||
| 设计抽速 | 50Hz，升/分钟 | 150 | 300 | 300 |
| 60Hz，升/分钟 | 180 | 360 | 360 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7×10 -2 (*2) | 2.7×10 -2 (*2) | 6.7×10 -2 (*2) |
| 所需电机 | ACV，相位，kW | 200、3、0.4（*3） | 200, 3, 0.75 (*3) (*4) | 200, 3, 0.73 (*3) (*5) |
| 进气口 | NW25 (*6) | NW25 (*6) | NW25 (*6) | |
| 排气口 | PS1 | PS1 | PS1 | |
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | L | 0.8 | 1.2 | 1.5 |
| 尺寸 (*1) | 宽×深×高（毫米） | 261×494.5×209 | 261×572×172 | 260×503×176 |
| 质量 (*1) | 公斤 | 27 | 38 | 34 |
| 水处理量 | 升/小时 | 0.2 | 0.4 | 0.4 |
| 噪音 | 50赫兹，分贝（A） | 60 | 61 | 58 |
| 60赫兹，分贝（A） | 63 | 64 | 61 | |
| 振动 | 振幅0.05mm以下 | |||
| 冷却方式 | 强制冷却（风冷） | |||