SHIBAURA芝浦 低噪音 油回转真空泵DRP-800
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SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-180YⅡ
日本SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-360YⅡ
SHIBAURA芝浦 油回转真空泵DRP-360Ⅲ 噪音小
SHIBAURA芝浦 低噪音 油回转真空泵DRP-800
DRP系列特点
由于采用两级系统，极限压力较低。
采用电机直连式，体积小、重量轻，产生的粉尘少，保持环境清洁。
振动和噪音较小
易于维护的结构
配有气镇阀（蒸汽处理阀），可防止水蒸气和冷凝性气体的排出。
使用示例
溅射设备
气相沉积设备
各种等离子装置
真空炉
各种真空测试设备
| 型式 | unit | DRP-800 | DRP-1500 | |
|---|---|---|---|---|
| 構造 | 回転翼型２段 ガスバラストバルブ付属 | |||
| 設計排気速度 | 50 Hz, L/min | 700 | 1,250 | |
| 60 Hz, L/min | 840 | 1,500 | ||
| 到達圧力 | Pa | 6.7 × 10-2（*2） | 6.7 × 10-2（*2） | |
| 所要モータ | ACV, 相, kW | 200, 3, 1.5（*3）（*4） | 200, 3, 2.2（*3）（*4） | |
| 吸気口 | VG50 | VG50 | ||
| 排気口 | PS1 1/2 | PS2 | ||
| 使用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | ||
| 油量 | L | 2.3 | 3.5 | |
| 大きさ（*1） | W × D × H（mm） | 441 × 608 × 237 | 496 × 721.5 × 253 | |
| 質量（*1） | kg | 67 | 96.5 | |
| 水処理量 | L/h | 0.8 | 1.5 | |
| 騒音 | 50Hz, dB(A) | 63 | 73 | |
| 60Hz, dB(A) | 67 | 76 | ||
| 振動 | 振幅 0.05 mm 以下 | |||
| 冷却方法 | 強制冷却（air cooling） | |||