日本SHIBAURA芝浦 ESV-4油扩散真空泵
日本SHIBAURA芝浦 ESV-3油扩散真空泵日本SHIBAURA芝浦 ESV-4油扩散真空泵ESV系列的特点该系列采用ESV-6及以下的环形加热器和ESV-8及以上的内热式护套加热器，从超高真空到高、中、真空区域获得稳定的压力，防止因油暴而引起的压力波动。ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。使用示例各种真空炉各种实验用排气装置管材
日本SHIBAURA芝浦 ESV-3油扩散真空泵
日本SHIBAURA芝浦 ESV-4油扩散真空泵
ESV系列的特点
该系列采用ESV-6及以下的环形加热器和ESV-8及以上的内热式护套加热器，
从超高真空到高、中、真空区域获得稳定的压力，防止因油暴而引起的压力波动。
ESV系列导热油热效率高（与我公司相比），因此运行时间快、排量大、临界背压高。它还需要较少的液压油。
使用示例
各种真空炉
各种实验用排气装置
管材制造设备
各种成膜设备
电子束焊接
电子显微镜
| 模型 | 单元 | ESV-3 | ESV-4 | ESV-6 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大抽速 | 升/秒 | 380 | 580 | 1,200 | |
| 极限压力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作压力范围 | 帕 | 10 -6 ~ 3.3 × 10 -1 | 10 -6 ~ 3.3 × 10 -1 | 10 -6 ~ 0.4 | |
| 临界背压 | 帕 | 40 | 40 | 40 | |
| 最大位移 | 帕升/秒 | 93 | 190 | 260 | |
| 使用油 | 高背F-4 | 高背F-4 | 高背F-4 | ||
| 油量 | L | 0.12 | 0.18 | 0.3 | |
| 垫片 | 拜腾 | 拜腾 | 拜腾 | ||
| 加热器 | 格式 | 云母带 | 云母带 | 云母带 | |
| 电压、相位 | ACV阶段 | 200, 1 | 200, 1 | 200, 1 | |
| 格式 | 千瓦 | 0.55 | 0.75 | 1.2 | |
| 进气口 | VG80 | VG100 | VG150 | ||
| 辅助端口 | VG25 | VG25 | VG50 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 辅助泵 | DRP-360Ⅲ或RP-360Z | DRP-800或RP-800ZⅡ | DRP-800或RP-800ZⅡ | ||
| 挡板样式 | 3C（雪佛龙） | 4C（雪佛龙） | 6C（雪佛龙） | ||
| 带挡板的抽速 | 升/秒 | 165 | 240 | 450 | |
| 挡板冷却水量 | 升/分钟，25℃ | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 油回流 | 厘米3 /厘米2分钟 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -8 | |
| 材料 | 圆柱 | 防锈的 | 防锈的 | 防锈的 | |
| 喷射 | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | 铁（镀镍） | ||
| 大量的 | 公斤 | 8.5 | 11 | 20 | |